大型バッキングプレート 銅

HOME会社案内 | 金属加工事例 | 機械加工設備お問い合わせLINK

HOME >> 金属加工事例 >> マシニングセンター加工 >> 銅

バッキングプレート加工

バッキングプレート切削加工 液晶用大型バッキングプレート加工

バッキングプレートとは?

液晶パネルや半導体の薄膜製造ではスパッタリングという製造方法で金属を蒸発させ回路を生成していきます。スパッタリングをする際に蒸発させる金属(ターゲット材)は非常に高温となるため冷却をしながら生成プロセスを進めます。そのターゲット材を冷却するために使用されるのがバッキングプレートとなります。

バッキングプレートに使用される材質

冷却にしようされるため、熱伝導率の高い銅鋼が使用されます。

銅鋼の特徴は

ほかの金属、非鉄金属にくらべ、「コシ」や「硬さ」が弱く、酸化も早いため、他の金属を扱うよりも多くの知識・経験が必要となります。

冷却性の追求

バッキングプレートは放熱性・耐熱性をさらに高めるため、バッキングプレート内に水路を形成しています。

大型バッキングプレートの製造工程

  1. 水の通り道である水冷溝を彫り込み
  2. 水冷溝をふさぐふたを製作
  3. それぞれを接合します。
  4. 接合時に発生した歪みや凹凸を平坦に切削加工。

弊社の技術

この際に内部に蓄積された応力により「ねじれ」や「反り」がなどの歪みが生じています。
その内部応力の「曲がり」「そり」「ねじれ」を最終仕上げ加工で無くしていくか?が弊社の築いてきた技術となります。

生産能力の拡大

弊社ではさらなる生産能力の拡大のため、2016年12月にあらたな3次元CAD/CAMを導入。

製造プロセスを縮めることにより、より短納期かつ低コストを実現しております。

切削加工後は「酸化」が早いために、複数の工程に分けた専用の防錆処理行い出荷となります。

製作可能サイズ

2000mmX4000mmまでとなります。

HOME会社案内 | 金属加工事例 | 機械加工設備お問い合わせLINK
大型機械加工の埼玉プレーナー
〒332-0031 埼玉県川口市青木3-2-31
TEL:048-251-5838 FAX:048-251-6934
e-mail:info@planers.co.jp
URL:http://www.planers.co.jp/
Copyright© 1961 - 2019Saitama Planer Industrial All Rights Reserved.