スパッタリング装置部品 インコネル加工

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マシニングセンター加工

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この加工は、インコネル板材からの削りだしでした。
写真からもわかるとおり非常に薄肉、深穴になるところが多いため、加工方法でいくつかの工夫をしました。
また、ここまで削り落とすと仕上がりでの反り等もかなり出てきてしまうので、仕上がり精度を重視した加工を行いました。

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